當(dāng)相對(duì)濕度超過 50% 時(shí)，靜電荷開始迅速消散，但當(dāng)相對(duì)濕度低于 30% 時(shí)，靜電荷會(huì)在絕緣體或未接地表面上長(zhǎng)期存在。

35% 到 40% 之間的相對(duì)濕度可以作為令人滿意的折衷方案。 半導(dǎo)體潔凈室和潔凈室通常使用額外的控制來(lái)限制靜電荷的積累。 許多化學(xué)反應(yīng)（包括腐蝕過程）的速率會(huì)隨著相對(duì)濕度的增加而增加。 所有暴露在潔凈室周圍空氣中的表面都很快被至少一層水覆蓋。 當(dāng)這些表面由與水發(fā)生反應(yīng)的薄金屬涂層制成時(shí)，高濕度會(huì)加速反應(yīng)。 幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成氧化物保護(hù)層，防止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)； 但在其他情況下，例如氧化銅，它沒有防護(hù)作用，因此銅表面在高濕度環(huán)境下更容易受到腐蝕。

綜上所述，電子行業(yè)無(wú)塵車間的溫濕度控制主要取決于其生產(chǎn)工藝的要求：下面舉例說(shuō)明：

示例1)

在精密加工、計(jì)量等場(chǎng)合，為防止熱膨脹引起的誤差，必須使工件保持在一定的溫度。 工件溫度允許波動(dòng)范圍應(yīng)根據(jù)加工精度確定。 例如凈化恒溫恒濕空調(diào)，在恒溫室中打標(biāo)長(zhǎng)度為500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺時(shí)凈化恒溫恒濕空調(diào)，工藝允許線間公差為2um，其中l(wèi)um為尺子溫度變化引起的變形誤差，1um為加工和測(cè)量誤差。 1um相當(dāng)于尺子溫度的變化=0.20C【a為尺子線膨脹系數(shù)，取10/um/(m?K)； l為尺子的長(zhǎng)度，m]，因此工件的溫度變化必須在范圍內(nèi)。

但由于工件測(cè)量?jī)x器具有一定的熱慣性，空氣溫度的波動(dòng)傳遞到工件后會(huì)衰減。 設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)恒溫恒濕機(jī)品牌，一般都是以環(huán)境空氣溫度恒定為基礎(chǔ)，因此相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可以低于工件允許的溫度精度。 因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí)，必須考慮工件恒溫恒濕車間、建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自動(dòng)控制系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。

示例2)

電子行業(yè)的制造車間是靜電最重要的產(chǎn)生場(chǎng)所。 通常靜電會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品短路，甚至因?qū)щ妭鲗?dǎo)而導(dǎo)致員工暈倒。 因此，電子行業(yè)無(wú)塵車間的相對(duì)濕度不應(yīng)低于30%，這樣可以減少靜電。 通常建議無(wú)塵車間防靜電區(qū)域的相對(duì)濕度不應(yīng)低于50%。 空氣過于干燥，灰塵很容易飛揚(yáng)。 電子廠無(wú)塵車間若無(wú)特殊要求，溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在55～60%RH之間。 在這樣的環(huán)境下，人們感覺很舒服。 靜電也消失了。

例3）

SMT車間對(duì)溫濕度有明確的要求

首先，主要是為了焊膏能夠在更好的環(huán)境下工作。 溫度會(huì)影響焊膏的活性，并對(duì)里面添加的助焊劑相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。 高溫會(huì)增加其活性，最終影響絲網(wǎng)印刷、貼片和回流焊的效果。 容易出現(xiàn)焊接不牢、焊點(diǎn)暗淡的現(xiàn)象。 濕度的大小會(huì)影響焊膏在空氣中吸收的水蒸氣的量。 如果吸收過多的水蒸氣，會(huì)在回流焊時(shí)造成氣孔、飛片、連焊等現(xiàn)象。 因此，SMT恒溫恒濕車間的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)為：溫度：24±2℃恒溫恒濕機(jī)價(jià)格，濕度：50±10%。

例4）

在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中，要求用作掩模材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)差異越來(lái)越小。 對(duì)于直徑為100um的硅片恒溫恒濕機(jī)價(jià)格，如果溫度升高1度，就會(huì)引起0.24um的線膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫。 同時(shí)濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊箷r(shí)會(huì)污染產(chǎn)品，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間不要超過25度。 濕度過高會(huì)產(chǎn)生更多問題。 當(dāng)相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)形成凝露。 如果發(fā)生在精密器件或電路中，就會(huì)造成各種事故。 相對(duì)濕度50%時(shí)易生銹。

因此，無(wú)塵車間的溫濕度控制是由其生產(chǎn)工藝決定的，但其精度也取決于房間的大小，如測(cè)量室、光柵打標(biāo)室、精密儀器制造裝配車間等前兩種是小房間，對(duì)空調(diào)精度要求較高（這里主要指溫度和濕度）； 后兩者是較大的生產(chǎn)車間，對(duì)溫濕度精度要求較低。 因此，房間的大小也會(huì)決定恒溫恒濕車間的精度。了解更多無(wú)塵車間知識(shí)請(qǐng)點(diǎn)擊這里

恒溫恒濕機(jī)生產(chǎn)廠家：www.zswld.com